一种保持压力恒定的单晶硅抛光设备
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种保持压力恒定的单晶硅抛光设备,包括加工中心,所述加工中心由基座,安装于基座上的外壳以及安装于外壳上的罩门组成,所述基座上设置有固定组件,所述外壳内设置有加工刀头,所述加工刀头一侧设置有刀库,所述加工刀头上设置有压力调控组件,所述外壳内设置有横移调节机构与压力调控组件连接,所述外壳以及基座上设置有冷却液供排组件;本发明的有益效果是,该保持压力恒定的单晶硅抛光设备,采用主轴与刀头轴向连接的方式,主轴外设置有压力调控组件配合弹性阻尼检测组件,实时对加工刀头的压力进行监测,避免加工刀头的压力的突然变化损坏物料以及刀头,不仅提高了加工的成品率也有效的提高了刀头的使用寿命,同时结构简单,拆装方便,便于维护。

基本信息
专利标题 :
一种保持压力恒定的单晶硅抛光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114473819A
申请号 :
CN202210190972.6
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
罗正光王春阳李达远罗平新
申请人 :
东莞德盟工业有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市大朗镇屏山社区屏东路8号E区
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210190972.6
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02  B24B41/04  B24B49/00  B24B55/03  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 29/02
申请日 : 20220226
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332