一种电镀系统
实质审查的生效
摘要
本申请涉及电镀技术领域,公开了一种电镀系统,包括多个电镀工位、储液装置、抽液泵以及稳压装置,多个电镀工位用于容纳电镀液以对待镀工件进行电镀,储液装置与多个电镀工位分别连通,抽液泵连通在储液装置与多个电镀工位之间,稳压装置连通在抽液泵与多个电镀工位之间,用于降低电镀工位中产生的瞬时流阻变化对相邻电镀工位造成的电镀液流速的变化。通过在电镀系统中设置稳压装置,连通在抽液泵与多个电镀工位之间,能够降低不同电镀工位的待镀工件在安装以及拆卸时,产生的瞬时流阻变化对相邻电镀工位造成的电镀液流速的变化,由此,本申请实施例的电镀系统能够提高电镀环境和电镀液流速的稳定性,进而能够提高待镀工件电镀的均匀性。
基本信息
专利标题 :
一种电镀系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114438573A
申请号 :
CN202210194565.2
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-03-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨洪广王玮何长水袁晓明郭炜韩志博白宪璐丁卫东
申请人 :
中国原子能科学研究院
申请人地址 :
北京市房山区新镇三强路1号院
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
刘欣
优先权 :
CN202210194565.2
主分类号 :
C25D17/00
IPC分类号 :
C25D17/00 C25D21/12
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 17/00
申请日 : 20220301
申请日 : 20220301
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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