一种图像检测方法
公开
摘要
本申请提供了一种图像检测方法，其中，该方法包括：获取半导体掩膜工件的对准标记图像；从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像；针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值；确定所述对准标记图像的全局图像检测值；根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量。本申请即对对准标记图像的全局进行质量评价，又对对准标记图像的对准标记的局部进行图像质量评价，达到准确判断对准标记图像质量的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种图像检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114565585A
申请号 ：
CN202210199232.9
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
闵珊珊林佳魏祥英杜婷婷孙邦元李洪亮谭胜旺申淙
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
高燕
优先权 ：
CN202210199232.9
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T7/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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