一种1030nm正弦型介质光栅及其制作方法
公开
摘要

本发明涉及一种1030nm正弦型介质光栅及其制作方法,该光栅包括顶部光栅、中间多层介质层和基底;顶部光栅的材料为高折射率膜料,中间多层介质层包括若干交替叠加的高折射率材料介质膜层和低折射率材料介质膜层,基底的材料为低折射率材料;顶部光栅的槽型为正弦型。该制作方法在中间多层介质层上方设置一层高折射率膜层,高折射率膜层的材料为高折射率膜料,高折射率膜层的厚度为0.5‑0.6μm;在高折射率膜层上设置一层光刻胶;通过全息干涉系统在将光刻胶制作成掩膜,进而刻蚀成顶部光栅。该光栅可以使TE和TM两种偏振态在1020‑1040nm波段内利特罗入射下拥有极高的衍射效率,且制作时仅需对一层膜层进行刻蚀,刻蚀工艺冗余度高。

基本信息
专利标题 :
一种1030nm正弦型介质光栅及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114460676A
申请号 :
CN202210210169.4
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-03-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
方志辉游静李广伟
申请人 :
福建睿创光电科技有限公司
申请人地址 :
福建省福州市闽侯县上街镇科技东路8号创业大厦附属楼3楼304-A118
代理机构 :
福州科扬专利事务所(普通合伙)
代理人 :
张红艳
优先权 :
CN202210210169.4
主分类号 :
G02B5/18
IPC分类号 :
G02B5/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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