一种三台阶分束光栅，用于将一束激光分为多个均匀光束，其特征在于：其结构以2个周期T为结构变化周期(即每个2周期T的结构都一样)，其中第1个周期T的结构为二元位相分束光栅一个周期T的沟槽结构，第2个周期T的结构高度提高h，并且第2个周期T的沟槽结构是与第1个周期T结构相反的二元位相分束光栅沟槽结构，本发明由于相邻周期的相反结构，其输出均匀性误差近似相互抵消，均匀性受横向加工误差的影响小，因此同样加工误差下能够制作更大分束比的光栅。