一种三台阶分束光栅及制作方法
专利权的终止
摘要
一种三台阶分束光栅,用于将一束激光分为多个均匀光束,其特征在于:其结构以2个周期T为结构变化周期(即每个2周期T的结构都一样),其中第1个周期T的结构为二元位相分束光栅一个周期T的沟槽结构,第2个周期T的结构高度提高h,并且第2个周期T的沟槽结构是与第1个周期T结构相反的二元位相分束光栅沟槽结构,本发明由于相邻周期的相反结构,其输出均匀性误差近似相互抵消,均匀性受横向加工误差的影响小,因此同样加工误差下能够制作更大分束比的光栅。
基本信息
专利标题 :
一种三台阶分束光栅及制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1786751A
申请号 :
CN200510130742.7
公开(公告)日 :
2006-06-14
申请日 :
2005-12-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王长涛杜春雷
申请人 :
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 :
610209四川省成都市双流350信箱
代理机构 :
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 :
刘秀娟
优先权 :
CN200510130742.7
主分类号 :
G02B5/18
IPC分类号 :
G02B5/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2016-02-24 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101648079127
IPC(主分类) : G02B 5/18
专利号 : ZL2005101307427
申请日 : 20051227
授权公告日 : 20090218
终止日期 : 20141227
号牌文件序号 : 101648079127
IPC(主分类) : G02B 5/18
专利号 : ZL2005101307427
申请日 : 20051227
授权公告日 : 20090218
终止日期 : 20141227
2009-02-18 :
授权
2008-03-05 :
实质审查的生效
2006-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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