转移设备及转移方法
公开
摘要
一种转移设备及转移方法，转移设备包括一载台、一接合头、一感测器及一控制单元。一基板适于置于载台上且具有一接合面。接合头适于连接一载体，载体的一承载面承载至少一电子元件。感测器适于测量接合面与感测器之间的距离及承载面与感测器之间的距离而获得一误差值。控制单元适于依据误差值控制接合头调整承载面的角度，并适于控制接合头将电子元件接合至接合面。
基本信息
专利标题 ：
转移设备及转移方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114583021A
申请号 ：
CN202210215995.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘锦营许咏政王维扬郑君丞
申请人 ：
友达光电股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄艳
优先权 ：
CN202210215995.8
主分类号 ：
H01L33/00
IPC分类号 ：
H01L33/00 H01L21/66
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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