一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法

授权

摘要

本发明涉及一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法。器件转移设备中设置了容纳腔室来容纳固液相变材料，每个容纳腔室都有与之对应的电热转换件，利用电热转换件将电能转换为热能，向固液相变材料提供热量，使得固液相变材料熔化，流至与容纳腔室连通的吸嘴，同时又通过通气道在容纳腔室内形成负压，避免液体从吸嘴口滴落，从而实现了通过液体张力进行器件吸附的效果，摒弃了真空器件吸附方案，打破了真空管尺寸对被转移器件尺寸的限制，扩大了器件转移设备的应用场景。

基本信息

专利标题：

一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112992759A

申请号：

CN202011110589.2

公开（公告）日：

2021-06-18

申请日：

2020-10-16

授权号：

CN112992759B

授权日：

2022-04-19

发明人：

李强向毅

申请人：

重庆康佳光电技术研究院有限公司

申请人地址：

重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）

代理机构：

深圳鼎合诚知识产权代理有限公司

代理人：

李发兵

优先权：

CN202011110589.2

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/67 H01L25/075

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/683

用于支承或夹紧的

法律状态

2022-04-19 ：

授权

2021-07-06 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20201016

2021-06-18 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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