微型器件的转移装置及微型器件的转移方法
授权
摘要
本发明提供一种微型器件的转移装置，包括：第一基底；转移基底，所述转移基底形成于所述第一基底上，所述转移基底用于承载多个微型器件；所述第一基底和所述转移基底之间还包括至少一个缓冲元件。本发明的微型器件的转移装置能够在转移微型器件时提供缓冲力，避免微型器件被损坏。
基本信息
专利标题 ：
微型器件的转移装置及微型器件的转移方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110707016A
申请号 ：
CN201910301234.2
公开（公告）日 ：
2020-01-17
申请日 ：
2019-04-15
授权号 ：
CN110707016B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
张炜炽林金源陈英杰陆一民吴逸蔚
申请人 ：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
代理机构 ：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪飞亚
优先权 ：
CN201910301234.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L33/48
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-02-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20190415
申请日 : 20190415
2020-01-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
