微型器件的转移方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种微型器件的转移方法,包括以下步骤:提供一透明基板,透明基板的一侧具有可膨胀牺牲层,可膨胀牺牲层上具有第一粘胶层,多个微型器件通过第一粘胶层粘附于透明基板;将透明基板的粘附有微型器件的一侧与一载体基板进行对位;使用激光从透明基板的未粘附微型器件的一侧照射目标区域,对位于目标区域的可膨胀牺牲层进行作用以发生膨胀,以及对位于目标区域的第一粘胶层进行固化以降低粘度,使目标区域中的目标微型器件转移至载体基板上。通过激光精准、快速地对目标区域的可膨胀牺牲层进行局部膨胀作用和对第一粘胶层的局部固化作用,有效减少目标微型器件与第一粘胶层分离时的阻力,提高转移精度和成功率,且转移过程高效易操作。
基本信息
专利标题 :
微型器件的转移方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114551324A
申请号 :
CN202210439216.2
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-04-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘卫梦陈来成华聪聪
申请人 :
浙江清华柔性电子技术研究院
申请人地址 :
浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号17号楼
代理机构 :
上海波拓知识产权代理有限公司
代理人 :
林丽璀
优先权 :
CN202210439216.2
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683 H01L21/67 H01L25/075
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20220425
申请日 : 20220425
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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