一种室温红外敏感薄膜的图案化方法
公开
摘要
本发明公开了一种室温红外敏感薄膜的图案化方法，包括下列步骤：在衬底上依次旋涂聚甲基丙烯酸甲酯层、可溶性光刻胶层和正性光刻胶层，然后曝光显影，反应离子刻蚀，制作出三层胶结构。然后采用化学浴沉积法在衬底上沉积室温红外敏感薄膜，最后用丙酮去胶，剥离得到图案化的室温红外敏感薄膜。本发明采用聚甲基丙烯酸甲酯层，克服了光刻胶溶于碱性化学浴前驱体溶液的不足。采用丙酮剥离，避免了湿法腐蚀时强酸对衬底的腐蚀，以及干法刻蚀气体物理轰击对金属电极的刻蚀。本发明方法简便，尤其适用于碱性化学浴沉积室温红外敏感薄膜的图案化。
基本信息
专利标题 ：
一种室温红外敏感薄膜的图案化方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597287A
申请号 ：
CN202210220258.7
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张之胜申钧史浩飞聂长斌冷重钱
申请人 ：
中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学
申请人地址 ：
重庆市北碚区方正大道266号
代理机构 ：
北京元本知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黎昌莉
优先权 ：
CN202210220258.7
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 G03F7/09 G03F7/095 G03F7/42
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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