薄膜图案层的制造方法

专利权的终止

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摘要

本发明涉及一种薄膜图案层的制造方法，该方法包括下列步骤：提供一个具有若干高台的基板；在选定的高台表面涂布墨水；干燥墨水形成图案层。

基本信息

专利标题：

薄膜图案层的制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101021687A

申请号：

CN200610007549.9

公开（公告）日：

2007-08-22

申请日：

2006-02-15

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

周景瑜

申请人：

虹创科技股份有限公司

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区新竹市工业东四路24－1号4楼

代理机构：

北京申翔知识产权代理有限公司

代理人：

周春发

优先权：

CN200610007549.9

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G03F7/004 H01L21/027 B41J2/01 G02B5/23

相关图片

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2016-04-06 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101653694736
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006100075499
申请日 : 20060215
授权公告日 : 20090218
终止日期 : 20150215

2010-05-26 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101002298431
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006100075499
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 虹创科技股份有限公司
变更后权利人 : 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 000000 台湾省新竹科学工业园区新竹市工业东四路24-1号4楼
变更后权利人 : 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 鸿海精密工业股份有限公司
登记生效日 : 20100419

2009-02-18 ：

授权

2007-10-17 ：

实质审查的生效

2007-08-22 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN101021687A.PDF

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2、

CN100462846C.PDF

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