薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种衬底(P)，在衬底表面形成薄膜图案，该衬底(P)具有能注入功能液(L)的液体注入部(A2)、功能液(L)能流动地连接配置的液体流动部(A1)。在液体注入部(A2)和液体流动部(A1)的线宽度上，液体注入部(A2)的宽度(d)以液体流动部(A1)的线宽度(b)的2倍以下形成。提供能以良好的精度稳定形成细线状的微细薄膜图案的薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器。
基本信息
专利标题 ：
薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790664A
申请号 ：
CN200510118663.4
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-11-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
酒井真理平井利充
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李香兰
优先权 ：
CN200510118663.4
主分类号 ：
H01L21/768
IPC分类号 ：
H01L21/768 H01L23/522
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21／70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
法律状态
2008-11-26 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-08-16 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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