中阶梯光栅闪耀角检测装置及其检测方法
公开
摘要
本发明提供一种中阶梯光栅闪耀角检测装置及其检测方法，方法包括：S1、确定中阶梯光栅的闪耀角，根据闪耀角对刻刀的安装角度进行粗调，以对基底刻划形成光栅试段，在基底未刻划的部分镀制金属膜；S2、将基底放置在转台上进行调整，使光垂直入射到金属膜，通过功率计测量各单色光的能量I0(x)；S3、平移基底使光入射到光栅试段，当基底的转动角度为闪耀角时，利用功率计测量各衍射光的能量I(x)；S6、根据I0(x)与I(x)计算光栅试段的各波长的衍射效率，通过调整刻刀的安装角度，直到中阶梯光栅的中心波长的衍射效率处于衍射效率峰值为止；S7、刻刀根据调整好的安装角度对中阶梯光栅进行刻划。本发明能够保证刻刀安装角的调整量准确无误，提升光栅的刻划效率。
基本信息
专利标题 ：
中阶梯光栅闪耀角检测装置及其检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114578466A
申请号 ：
CN202210241219.5
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
糜小涛周敬萱江思博高键翔于宏柱李文昊巴音贺希格江锐徐向宇刘广义刘进文
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 ：
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 ：
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高一明
优先权 ：
CN202210241219.5
主分类号 ：
G02B5/18
IPC分类号 ：
G02B5/18 G01J1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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