一种耐高温透明导电复合薄膜及其制备方法和应用
公开
摘要
本发明公开了一种耐高温透明导电复合薄膜及其制备方法和应用，本发明属于薄膜材料及薄膜光学领域，首先本发明提供了一种耐高温透明导电复合薄膜，由下至上包括玻璃衬底，35‑80nm的TiO2层，8‑11nm、掺杂比例为2％‑8％的Ag‑Pt层，40‑100nm的AZO层，最后本发明制备的复合薄膜可以经受500℃高温退火，在可见光范围内透射率高，最大透过率接近90％，并且导电性能好，方阻最小为10.8Ω.sq‑1。
基本信息
专利标题 ：
一种耐高温透明导电复合薄膜及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114622162A
申请号 ：
CN202210247368.2
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
胡二涛王敏倪康韦玮余柯涵王静
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
卢霞
优先权 ：
CN202210247368.2
主分类号 ：
C23C14/08
IPC分类号 ：
C23C14/08 C23C14/18 C23C14/35 H01L31/0224
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/08
氧化物
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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