一种菱形角度溅射靶材的加工方法
公开
摘要
本发明提供了一种菱形角度溅射靶材的加工方法，属于靶材制备领域。本发明方法具体包括以下步骤：将靶材胚料上下面经磨削处理，得到达到最终厚度尺寸的靶材；然后将靶材的侧面经磨削处理，得到达到最终长宽尺寸的靶材；再将靶材的侧面经菱形角度边磨削处理，得到菱形角度边靶材；最后将得到的靶材的溅射面进行精磨削处理，得到菱形溅射靶材。本发明加工方法较传统方法的加工时间短，成本低，产品质量好，产品合格率高。
基本信息
专利标题 ：
一种菱形角度溅射靶材的加工方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114603403A
申请号 ：
CN202210256262.9
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
植锐俊周荣艳胡智向文崇斌
申请人 ：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈静
优先权 ：
CN202210256262.9
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00 B24B41/06 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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