一种固体绝缘的介电谱测量装置及其测量方法，涉及绝缘材料测量技术领域。本发明的目的是为了解决传统的介电谱测量装置无法实现液氮冷却和真空处理同时进行，以及固体试样不能与电极完全贴合的问题。本发明介电谱测量装置实现测量与反馈一体化，可以根据实际需求来灵活地进行调节，智能化程度高。计算机根据预先设定的测量模式对电压源、温控装置和真空抽取装置输送指令，并且根据传感器反馈的信号进行调节，温控与真空处理可同时进行，具有较高的智能化。本发明可获得一种固体绝缘的介电谱测量装置及其测量方法。