基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法
实质审查的生效
摘要

本发明属于化学气相沉积法石墨烯转移技术领域,具体涉及一种基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法。针对现有石墨烯转移方法中容易造成聚甲基丙烯酸甲酯残留,并且使用的贵金属成本高的问题,本发明提供了一种基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法,包括如下步骤:a、在金属基底上生长石墨烯;b、正面沉积一层金属铬;c、将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂到正面上,加热固化;d、背面放入轰击等离子体的装置,抽真空后轰击等离子体;e、正面朝上加入蚀刻溶液中,蚀刻掉金属基底;f、去除聚甲基丙烯酸甲酯;g、去除铬金属层。本发明首次采用金属铬沉积作为牺牲层进行石墨烯转移,铬金属膜的结合力较强,能减少聚甲基丙烯酸甲酯残留,转移效果更好。

基本信息
专利标题 :
基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114538429A
申请号 :
CN202210407712.X
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-04-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李炜康潘登侯伟盛
申请人 :
深圳前海石墨烯产业有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市前海深港合作区南山街道前湾一路63号万科前海企业公馆4栋301
代理机构 :
广东众赢专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
樊宝忠
优先权 :
CN202210407712.X
主分类号 :
C01B32/194
IPC分类号 :
C01B32/194  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B32/00
碳;其化合物
C01B32/15
纳米级碳材料
C01B32/182
石墨烯
C01B32/194
后处理
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 32/194
申请日 : 20220419
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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