一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系

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摘要

本发明提供了一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系，该方法包括：提供一带有金属基底的石墨烯晶圆；以及，采用电化学鼓泡工艺将所述石墨烯晶圆自所述金属基底上剥离；其中，所述电化学鼓泡工艺中的鼓泡体系包括水相和有机相，所述水相包括电解质水溶液，所述有机相位于所述水相的下方。本发明一实施方式的石墨烯晶圆的转移方法，大大减少了转移过程中石墨烯薄膜的破损，提高了所得石墨烯薄膜的质量。

基本信息

专利标题：

一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111232964A

申请号：

CN202010061392.8

公开（公告）日：

2020-06-05

申请日：

2020-01-19

授权号：

CN111232964B

授权日：

2022-05-27

发明人：

彭海琳刘忠范阎睿唐际琳杜音

申请人：

北京石墨烯研究院

申请人地址：

北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司

代理人：

吴娅妮

优先权：

CN202010061392.8

主分类号：

C01B32/194

IPC分类号：

C01B32/194