晶圆转移装置
授权
摘要
本实用新型提供一种晶圆转移装置，其包括转轴及多个机械手臂，所述机械手臂沿所述转轴的轴向顺序设置，至少部分所述机械手臂能够绕所述转轴旋转。本实用新型的优点在于，所述晶圆转移装置能够同时转移多个晶圆，提高了晶圆转移的效率，节省了生产时间。
基本信息
专利标题 ：
晶圆转移装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921621738.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN211320066U
授权日 ：
2020-08-21
发明人 ：
王二伟
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董琳
优先权 ：
CN201921621738.4
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-08-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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