本发明涉及一种晶圆翻转装置及巨量转移设备。所述晶圆翻转装置包括晶圆载台、旋转驱动机构和激光测距模块；所述晶圆载台的一侧具有晶圆固定区，所述晶圆载台能装载并固定晶圆于所述晶圆固定区；所述旋转驱动机构与所述晶圆载台连接，用于驱动所述晶圆载台转动，以改变所述晶圆固定区的朝向；所述激光测距模块安装在被所述旋转驱动机构驱动旋转的转动体上，用于测量所述晶圆载台上所装载的晶圆与目标基板之间的距离。上述晶圆翻转装置通过设置激光测距模块，可以测量晶圆与目标基板之间的距离，根据晶圆和目标基板之间的距离，及时对晶圆载台的翻转过程进行调整，避免晶圆载台和目标基板及目标基板的固定设备之间发生碰撞，防止因碰撞而产生破坏。