金属零件表面形成硫化物层的方法及设备
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
一种通过硫的加热气化而在金属零件表面形成硫化物层的方法及其设备，被渗金属零件放置在真空反应室中的阴极盘上，同时在真空反应室中还放有盛有固体硫的蒸发器，蒸发器由低压电源来加热。固体硫在真空情况下通过加热而气化，气体硫在阴极和阳极之间所加的直流高压电场作用之下电离并进行辉光放电，在辉光放电下正离子硫轰击位于阴极盘上的金属零件，使其表面形成硫化物层。
基本信息
专利标题 ：
金属零件表面形成硫化物层的方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85106828A
申请号 ：
CN85106828.6
公开（公告）日 ：
1987-03-11
申请日 ：
1985-09-10
授权号 ：
CN85106828B
授权日 ：
1987-09-09
发明人 ：
张戈飞
申请人 ：
张戈飞
申请人地址 ：
北京市西四砖塔胡同60号
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
包冠乾
优先权 ：
CN85106828.6
主分类号 ：
C23C8/36
IPC分类号 ：
C23C8/36
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C8/00
金属材料表面中仅渗入非金属元素的固渗；材料表面与一种活性气体反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理法，例如转化层、金属的钝化
C23C8/06
使用气体的
C23C8/36
使用电离气体的，例如离子氮化
法律状态
2001-05-02 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1988-03-30 ：
授权
1987-09-09 ：
审定
1987-03-11 ：
公开
1986-07-02 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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