用于湿试样的目视的扫描电镜
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
用于获得湿样品的显微数据或图象的扫描电镜，设有发射电子束的电子源；带有聚焦电子束装置的电子光学真空镜筒；使聚焦电子束扫描掠过样品的装置；装在电子光学真空镜筒下方的差级抽气光阑筒，该筒具有至少两个垂直于其侧壁的壁以限定一适宜的压强梯度的系列，各壁有一光阑，彼此对准以使电子束能穿过该光阑筒；可保持在标准大气压下的样品室；样品支架；用于防止样品表面上聚集负电荷的装置；以及检测器和图象记录系统。
基本信息
专利标题 ：
用于湿试样的目视的扫描电镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1034452A
申请号 ：
CN88100309.3
公开（公告）日 ：
1989-08-02
申请日 ：
1988-01-18
授权号 ：
CN1018110B
授权日 ：
1992-09-02
发明人 ：
阿伦·C·纳尔逊
申请人 ：
电子扫描公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张志醒
优先权 ：
CN88100309.3
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 G01N23/22
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
1999-03-10 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-06-02 ：
授权
1992-09-02 ：
审定
1990-06-06 ：
实质审查请求
1989-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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