等离子体收缩系统及其使用方法
视为撤回的专利申请
摘要
等离子体收缩系统包括一台流体束收缩装置，用以建立一个等离子体源，该源是由一中心狭窄的受压流体蒸汽细流、以及周围环绕着稀薄汽相预处理云组成的。一台放电装置与流体束装置作电连接，用以供给通过流体蒸汽部分的、建立发射等离子体的非相干光的电流。一个用该等离子体收缩系统生产半导体的方法包括将半导体片子对等离子体发射的非相干光曝光，完成退火和腐蚀工艺。
基本信息
专利标题 ：
等离子体收缩系统及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1043846A
申请号 ：
CN88108991.5
公开（公告）日 ：
1990-07-11
申请日 ：
1988-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
约翰·F·阿斯姆斯罗尔夫·H·洛夫堡
申请人 ：
加州大学评议会
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
吴秉芬
优先权 ：
CN88108991.5
主分类号 ：
H05H1/04
IPC分类号 ：
H05H1/04 H01L21/02
法律状态
1992-08-19 ：
视为撤回的专利申请
1991-03-27 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1990-07-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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