振动型传感器及其制造方法
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本发明涉及一种振动型传感器，其中H型振子与硅基片形成整体，在周围有一个空腔，连同放大器一起，在其固有频率上保持自激振荡；当施加到硅基片上一定物理量，如力、压力、差压等时，振子的固有频率随该物理量而变量，通过变化检测物理量；通过半导体技术制造该振动型传感器的工艺；维持空腔内真空的工艺；给予振子初始应力的结构，以及使自激振荡稳定工作的放大器结构。
基本信息
专利标题 ：
振动型传感器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1038162A
申请号 ：
CN89103429.3
公开（公告）日 ：
1989-12-20
申请日 ：
1989-05-25
授权号 ：
CN1013407B
授权日 ：
1991-07-31
发明人 ：
原田谨尔池田恭一桑山秀树小林隆西川直渡边哲也吉田隆司
申请人 ：
横河电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
冯庚瑄
优先权 ：
CN89103429.3
主分类号 ：
G01L1/10
IPC分类号 ：
G01L1/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/10
通过测量受应力的振动元件的频率变化，例如，受应力的带的
法律状态
2009-08-05 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-04-24 ：
其他有关事项
1992-04-08 ：
授权
1991-07-31 ：
审定
1989-12-20 ：
公开
1989-11-08 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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