光纤热敏器件及其制造方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种光纤热敏器件及制造方法。包括热膨胀元，其上的反光镜，具有几对定位壁骨的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，和插入通道中的单模光纤。其主要制造步骤是用各向异性腐蚀剂在硅衬底上腐蚀制作热膨胀元、通道及壁骨。反光镜是用化学气相法淀积在氧化层上，由氮化硅、钛、金层组合的反光层，用阳极粘结工艺粘结遮盖薄板，光纤插入通道中以共聚物通过热处理固定在芯片上并封闭通道口。具有成本低可批量制造的优点。$附图１Ａ为说明书摘要附图。
基本信息
专利标题 ：
光纤热敏器件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1087718A
申请号 ：
CN92113322.7
公开（公告）日 ：
1994-06-08
申请日 ：
1992-12-01
授权号 ：
CN1040050C
授权日 ：
1998-09-30
发明人 ：
涂相征涂鹏李韫言
申请人 ：
李韫言;涂鹏;涂相征
申请人地址 ：
100009北京市东城区北河胡同14号
代理机构 ：
邮电部专利服务中心
代理人 ：
王丽琴
优先权 ：
CN92113322.7
主分类号 ：
H01L35/00
IPC分类号 ：
H01L35/00 H01L35/34
法律状态
2003-01-22 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-09-30 ：
授权
1994-07-13 ：
实质审查请求的生效
1994-06-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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