本发明涉及一种带有微沟槽翅结构的毛细泵吸冷却装置及其制造方法，该装置包括蒸发器、冷凝器、蒸汽联管和液体联管，蒸发器与冷凝器通过蒸汽联管与液体联管连接，构成一个液体工质在其内部循环的系统，蒸发器和冷凝器内设有由多块交错互通两面带有微沟槽翅结构的微沟槽翅化沸腾强化板。该毛细泵吸冷却装置主要应用于微电子芯片散热，解决微电子芯片高热流密度条件下的热扩散问题。本发明采用犁切－挤压成形加工微沟槽翅结构和刨削成形加工整体式翅片散热片，该结构用于蒸发器和冷凝器中有助于强化沸腾、促进冷凝、加快对流散热，提出的加工方法成本低、效率高，易于产业化。