用选择性金属蚀刻提高声共振器的性能
专利申请权、专利权的转移
摘要
一种声共振器，包括衬底、第一电极、压电材料层和第二电极。衬底具有第一表面并且第一电极与该表面相邻。压电材料层与第一电极相邻，第二电极与压电材料层相邻，且位于第一平面内并具有边缘。压电材料层具有相邻于第二电极边缘的凹槽结构。
基本信息
专利标题 ：
用选择性金属蚀刻提高声共振器的性能
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1794572A
申请号 ：
CN200510117370.4
公开（公告）日 ：
2006-06-28
申请日 ：
2005-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯宏俊罗纳德·S·法兹罗
申请人 ：
安捷伦科技有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
肖善强
优先权 ：
CN200510117370.4
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H3/02 H01L41/08
法律状态
2018-10-30 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H03H 9/17
登记生效日 : 20181011
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更后权利人 : 安华高科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20181011
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更后权利人 : 安华高科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
2013-07-10 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101627441506
IPC(主分类) : H03H 9/17
专利号 : ZL2005101173704
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技无线 IP(新加坡)私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20130618
号牌文件序号 : 101627441506
IPC(主分类) : H03H 9/17
专利号 : ZL2005101173704
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 安华高科技无线 IP(新加坡)私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技通用IP(新加坡)公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
登记生效日 : 20130618
2012-05-09 ：
授权
2008-02-13 ：
实质审查的生效
2007-08-15 ：
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 安华高科技杰纳勒尔IP（新加坡）私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技无线IP（新加坡）私人有限公司
登记生效日 : 20070706
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
变更前权利人 : 安华高科技杰纳勒尔IP（新加坡）私人有限公司
变更后权利人 : 安华高科技无线IP（新加坡）私人有限公司
登记生效日 : 20070706
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 新加坡新加坡市
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
2007-08-15 ：
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 安捷伦科技有限公司
变更后权利人 : 安华高科技杰纳勒尔IP（新加坡）私人有限公司
登记生效日 : 20070706
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国加利福尼亚州
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
变更前权利人 : 安捷伦科技有限公司
变更后权利人 : 安华高科技杰纳勒尔IP（新加坡）私人有限公司
登记生效日 : 20070706
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国加利福尼亚州
变更后权利人 : 新加坡新加坡市
2006-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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