本发明涉及一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液，主要成分包括双氧水，无机酸，腐蚀剂，蚀刻抑制剂，表面活性剂和去离子水构成氮化钛、钨蚀刻液。双氧水是蚀刻液中作为氧化剂；无机酸在蚀刻液中作为次氧化剂，增加双氧水的氧化性且为蚀刻液中提供氢离子，保证维持蚀刻速率的稳定；在蚀刻液对氮化钛及钨蚀刻的过程中，能够选择性的蚀刻氮化钛，同时保证速率的稳定性。腐蚀剂可以与被氧化的钛离子形成络合物，促进氮化钛的进一步反应；蚀刻抑制剂可以抑制金属钨的氧化；蚀刻抑制剂以配位键的形式吸附在金属钨表面形成一层致密的膜，阻碍蚀刻液对金属钨的蚀刻；表面活性剂可以调节蚀刻液与不同相之间的表面张力，达到调节蚀刻液在氮化钛和钨两相的选择比。本发明的蚀刻液能选择性的以高蚀刻速率蚀刻氮化钛。