球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置，所述检测方法包括获取平行光，选出双点源，光束经平面反射返回，光束经球面反射返回，返回光束输出，球面反射镜误差检测的步骤，所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机，所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明精度高，对振动、温度、气流敏感小，稳定性高，易于操作并能推广应用。
基本信息
专利标题 ：
球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1793812A
申请号 ：
CN200510120663.8
公开（公告）日 ：
2006-06-28
申请日 ：
2005-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄佐华
申请人 ：
华南师范大学
申请人地址 ：
510630广东省广州市天河区石牌
代理机构 ：
广州粤高专利代理有限公司
代理人 ：
何淑珍
优先权 ：
CN200510120663.8
主分类号 ：
G01M11/00
IPC分类号 ：
G01M11/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2010-02-10 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2008-04-30 ：
授权
2006-08-23 ：
实质审查的生效
2006-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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