本发明涉及微电子技术领域，具体地涉及一种下电极组件。本发明公开的一种用于半导体设备的下电极组件，包括静电卡盘、卡盘基座、下电极，阴极内衬，阴极内衬设有法兰边，还包括卡盘支架、螺钉掩盖和下电极护罩，其中，卡盘支架置于卡盘基座内，螺钉掩盖套与阴极内衬的法兰边上表面配合，下电极护罩套装在下电极外面，所述的下电极护罩为分体结构，分为下电极护罩上部分、下电极护罩下部分。本发明的结构能大大减小下电极护罩加工制造以及装配的难度，同时，使下电极的维护变得更加方便。