上电极机构及半导体加工设备
授权
摘要
本实用新型提供一种上电极机构及半导体加工设备，其中，上电极机构，包括射频电源、匹配器和多组线圈，多组线圈相互环绕设置，并且各组线圈均通过匹配器与射频电源电连接，上电极机构还包括至少一个切换组件，切换组件分别与匹配器以及至少一组线圈对应电连接，用于切换对应连接的线圈中的电流方向，以使对应连接的线圈中的电流方向和与其相邻的线圈中的电流方向相同或者相反。本实用新型提供的上电极机构及半导体加工设备不仅能够提高等离子体的分布均匀性，并且还能够满足不同的工艺要求，使半导体加工工艺中的等离子体应用更加多样化。
基本信息
专利标题 ：
上电极机构及半导体加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020404446.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN211700185U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
王桂滨韦刚
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN202020404446.1
主分类号 ：
H01J37/24
IPC分类号 ：
H01J37/24 H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/24
不作为管子特殊应用的，且未包含在其他组的电路装置
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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