流入真空室的外部气体检测方法

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明涉及一种流入真空室的外部气体检测方法，其特征在于包含步骤：向所述真空室流入工程气体；对所述真空室内的气体进行光检测，以测定所述工程气体和所述外部气体所属的波长(Wavelength)强度(Intensity)；基于所测定的波长强度来计算相对于所述工程气体的所述外部气体比率；比较所述比率与预定的界限值，由此判断所述真空室是否为正常工作状态。因此，在工艺过程中也可以测定真空室的外部气体隔离性能。

基本信息

专利标题：

流入真空室的外部气体检测方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1940527A

申请号：

CN200510135970.3

公开（公告）日：

2007-04-04

申请日：

2005-12-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

朴起梁姜炫圭崔命受尚兑峻

申请人：

三星电子株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

郭鸿禧

优先权：

CN200510135970.3

主分类号：

G01N21/17

IPC分类号：

G01N21/17 H05H1/00 G01M3/00