检查装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及一种具有检查头的检查装置，该检查头可在至少两个方向上相对于导向底面移动。该导向底面支撑待检查的基底，其中该基底具有至少两个印刷层，该印刷层相互之间至少部分重叠地连续敷设。检查头具有照明装置和检测装置，该检测装置检测被基底反射或穿透基底的电磁辐射并传送给分析装置，利用该分析装置可以检测基底(30)的缺陷。检查头(12)必要时还具有锥形扩口的通道(24)，在其内圆周上设置多个发光元件，检测装置(14)包括具有光学系统的数字照相机(18)，其检测基底(30)上小于30微米的分辨率，通过运动装置在拍摄周期中控制导向底面(32)和检查头(12)之间的相对运动，在该拍摄周期中将相邻的或重叠的单幅图像组合成基底(30)的一幅整体图像。
基本信息
专利标题 ：
检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1977177A
申请号 ：
CN200580013142.0
公开（公告）日 ：
2007-06-06
申请日 ：
2005-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
海因里希·斯特恩格
申请人 ：
斯特拉图斯影像有限公司
申请人地址 ：
德国格雷弗尔芬
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
赵科
优先权 ：
CN200580013142.0
主分类号 ：
G01R31/308
IPC分类号 ：
G01R31/308 G01R31/309
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
G01R31/08
探测电缆、传输线或网络中的故障
G01R31/14
所用的电路
G01R31/308
使用非电离电磁辐射，如光辐射
法律状态
2010-08-18 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101004077682
IPC(主分类) : G01R 31/308
专利申请号 : 2005800131420
公开日 : 20070606
号牌文件序号 : 101004077682
IPC(主分类) : G01R 31/308
专利申请号 : 2005800131420
公开日 : 20070606
2008-01-16 ：
实质审查的生效
2007-06-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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