检查装置

授权

摘要

提供一种检查装置。该检查装置是进行被检查物所包含的被检查面的外观检查的装置。该检查装置具有照射装置、摄像装置、图像存储部和缺陷检测部。照射装置在沿着被检查物的表面的假想平面上移动，并朝向被检查物的被检查面照射光。摄像装置在摄像范围中包含被检查物的被检查面，接收在被检查面处反射的光，生成作为摄像结果的亮度分布图像。图像存储部存储在照射装置的位置不同且被检查面、摄像装置和照射装置不在一条直线上排列的多个定时由摄像装置拍摄出的多个亮度分布图像。缺陷检测部根据多个不同的亮度分布图像，检测被检查面上的缺陷。

基本信息

专利标题：

检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109211915A

申请号：

CN201810736815.4

公开（公告）日：

2019-01-15

申请日：

2018-07-06

授权号：

CN109211915B

授权日：

2022-05-06

发明人：

野村昭农宗千典

申请人：

日本电产东测有限公司

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

优先权：

CN201810736815.4

主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/88