阻挡膜形成用内部电极以及成膜装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明的阻挡膜形成用内部电极，其插入具有口部的塑料容器的内部，向该塑料容器内供给介质气体，并向设置在上述塑料容器外部的外部电极供给高频电力，从而在塑料容器内表面产生放电等离子体，并在塑料容器的内表面形成阻挡膜，其中，设有：气体供给管101，具有用于供给介质气体G的气体流路101a；和绝缘部件103，平齐地螺合于上述气体供给管101的端部，并具有与上述气体流路101a连通的气体喷出口102。

基本信息

专利标题：

阻挡膜形成用内部电极以及成膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101061258A

申请号：

CN200580030957.X

公开（公告）日：

2007-10-24

申请日：

2005-10-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

后藤征司山越英男上田敦士冈本贤一浅原裕司团野实

申请人：

三菱重工食品包装机械株式会社

申请人地址：

日本爱知县

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

田军锋

优先权：

CN200580030957.X

主分类号：

C23C16/509

IPC分类号：

C23C16/509 B65D23/02

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C16/00

通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺

C23C16/44

以镀覆方法为特征的

C23C16/50

借助放电的

C23C16/505

采用射频放电

C23C16/509

采用内电极

法律状态

2018-05-25 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : C23C 16/509
变更事项 : 专利权人
变更前 : 三菱重工机电系统株式会社
变更后 : 三菱重工机械系统株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本兵库县
变更后 : 日本兵库县

2017-08-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101756494472
IPC(主分类) : C23C 16/509
专利号 : ZL200580030957X
登记生效日 : 20170713
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三菱重工食品包装机械株式会社
变更后权利人 : 三菱重工机电系统株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本爱知县
变更后权利人 : 日本兵库县

2010-05-12 ：

授权

2007-12-19 ：

实质审查的生效

2007-10-24 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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