本发明涉及一种用于制造金属玻璃膜的溅射靶，其特征在于，具有以选自Pd、Zr、Fe、Co、Cu、Ni中的至少一种以上的金属元素为主要成分(以原子％最多的成分)的3元系以上的组成，具有通过烧结平均粒径为50μm以下的喷雾粉得到的组织。本发明的课题在于，得到用于制造金属玻璃膜的溅射靶及其制造方法，能代替通过成本高的以往的熔融金属的淬火得到的块状金属玻璃，没有所制造的金属玻璃膜的缺陷和组成不均匀的问题，组织均匀，并且能以高效、低成本制造，而且结核和颗粒的发生少。