线宽测量方法
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明提供一种可以保持稳定的对比度状态的线宽测量方法。本发明的线宽测量方法，在由反射光及透射光同时照明测量试料的两侧，来测量半透明膜的线宽的线宽测量装置中，上述测量试料是在透明基板(21)上形成不透明图案(22)、并跨着透明基板与不透明图案而形成半透明膜(23)，在测量半透明膜的线宽时，对透明基板和不透明图案分别指定调光区域(26、27)后分别调光，然后测量上述半透明膜的线宽。
基本信息
专利标题 ：
线宽测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1804545A
申请号 ：
CN200610004954.5
公开（公告）日 ：
2006-07-19
申请日 ：
2006-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
野上大
申请人 ：
株式会社日立国际电气
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡建新
优先权 ：
CN200610004954.5
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2015-07-01 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101717042149
IPC(主分类) : G01B 11/02
专利号 : ZL2006100049545
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社日立国际电气
变更后权利人 : 株式会社V技术
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本东京都
变更后权利人 : 日本神奈川县
登记生效日 : 20150609
号牌文件序号 : 101717042149
IPC(主分类) : G01B 11/02
专利号 : ZL2006100049545
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社日立国际电气
变更后权利人 : 株式会社V技术
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本东京都
变更后权利人 : 日本神奈川县
登记生效日 : 20150609
2008-04-02 ：
授权
2006-09-13 ：
实质审查的生效
2006-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100378431C.PDF
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2、
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