一种改善MgO薄膜表面性能的方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
一种改善MgO薄膜表面性能的方法,首先,在制备有ITO透明电极、银电极和介质层的彩色等离子显示屏的玻璃基板上采用电子束蒸发的方法于富氧氛围中在介质层上蒸镀厚度为400-800纳米的MgO薄膜;其次,对MgO薄膜注入氧离子、氮离子、氖离子或氩离子,注入的离子能量为5~60keV,注入剂量为1.0×1015~2.2×1018ions/cm2;最后,对注入离子后的MgO薄膜在200~400℃进行高温退火即可。由于本发明采用低能离子注入方法对MgO薄膜进行表面改性,改性后的MgO薄膜表面呈现<111>结晶面择优取向、薄膜致密性显著提高、薄膜的抗离子溅射性能明显增强且着火电压低,从而能有效地降低PDP显示器件的能耗。
基本信息
专利标题 :
一种改善MgO薄膜表面性能的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1807320A
申请号 :
CN200610041618.8
公开(公告)日 :
2006-07-26
申请日 :
2006-01-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张志刚
申请人 :
彩虹集团电子股份有限公司
申请人地址 :
712021陕西省咸阳市彩虹路1号
代理机构 :
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 :
张震国
优先权 :
CN200610041618.8
主分类号 :
C03C17/23
IPC分类号 :
C03C17/23
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃,例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/22
用其他的无机材料
C03C17/23
氧化物
法律状态
2008-12-24 :
发明专利申请公布后的驳回
2007-08-29 :
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 彩虹集团电子股份有限公司
变更后权利人 : 四川世纪双虹显示器件有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 712021陕西省咸阳市彩虹路1号
变更后权利人 : 621000四川省绵阳市高新区绵兴东路35号
登记生效日 : 20070727
变更前权利人 : 彩虹集团电子股份有限公司
变更后权利人 : 四川世纪双虹显示器件有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 712021陕西省咸阳市彩虹路1号
变更后权利人 : 621000四川省绵阳市高新区绵兴东路35号
登记生效日 : 20070727
2006-09-20 :
实质审查的生效
2006-07-26 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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