对准检测结构及对准偏移量的检测方法

专利权的终止

摘要

本发明提供了一种对准检测结构，其包含基板上的对准图案，以及已知宽度的边框设于该对准图案外围。本发明的对准检测结构可用在COG(Chip－On－Glass)工艺中，配合芯片的对准标记，在COG压合工艺后，通过对准标记与边框的相互位置来直接进行判断偏移量，使本发明可以达到在COG工艺后可直接估算芯片压合后的偏移量去调校机台的最终目的。

基本信息

专利标题：

对准检测结构及对准偏移量的检测方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1844845A

申请号：

CN200610068206.3

公开（公告）日：

2006-10-11

申请日：

2006-03-20

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

钟博钦钟万河陈建仲

申请人：

友达光电股份有限公司

申请人地址：

台湾省新竹市

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

优先权：

CN200610068206.3

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02 G09G3/00 G01M11/00 G01R31/00