一种设有防漏装置的真空镀膜机
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种设有防漏装置的真空镀膜机,其包含有:一真空腔,真空腔的内室形成有镀膜区,镀膜区由若干隔板区隔出多个镀膜空间;一收发料机构,设于真空镀膜机的滑轨上,真空腔内室的上方设有供收发料机构滑移时导正的滑轨,收发料机构设有隔舱密封组,隔舱密封组的隔板对应真空腔隔板设置,当收发料机构送入至真空腔内室时,隔板区隔形成若干隔舱;隔舱密封组隔板二侧面固设有高出隔板的板片,其间形成嵌槽,嵌槽中组设有O型环,O型环为立体且内部设贯通的充气空间,外周设有充气嘴连通至充气空间,嵌槽中还嵌入真空腔隔板,O型环充气膨胀,密封二隔板间的缝隙,让各隔舱确实分隔密封。本实用新型具有极佳的防漏密封功效。

基本信息
专利标题 :
一种设有防漏装置的真空镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620004666.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-04-05
授权号 :
CN2908529Y
授权日 :
2007-06-06
发明人 :
刘镒诚
申请人 :
建铯科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾
代理机构 :
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 :
王燕秋
优先权 :
CN200620004666.5
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2013-06-05 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101465318498
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2006200046665
申请日 : 20060405
授权公告日 : 20070606
终止日期 : 20120405
2011-08-24 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101178108141
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2006200046665
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 建铯科技股份有限公司
变更后权利人 : 黄能杰
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国台湾
变更后权利人 : 104 中国台湾台北市中山区正义里6邻林森北路85巷88号
登记生效日 : 20110715
2007-06-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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