一种用于镀膜过程中在线的膜层光谱的实时测量装置，该测量装置包括一光学膜厚监控系统，其特征在于还有一计算机，该计算机有两个RS232标准串口，第一串口接所述的光学膜厚监控系统的单色仪，第二串口接所述的光学膜厚监控系统的锁相放大器，所述的计算机与所述的单色仪和所述的锁相放大器进行通讯，按设定的扫描控制程序采集数据并进行数据处理。本实用新型可以在线获得已镀膜层在不同波长的透过率，即获得已镀膜层在一定波段范围内的光学特性曲线，由此可预知镀膜效果，从而对镀膜过程进行评价和指导。