一种新型曝光框架
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及阴极射线管用平板荫罩生产中使用的一种曝光框架，该曝光框架有一压空接头位于框架边缘，工作状态下正对着钢带，在曝光工序结束后，利用这一压空接头向钢带上吹压缩空气，使钢带与掩膜版有效剥离。
基本信息
专利标题 ：
一种新型曝光框架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620085313.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-06-06
授权号 ：
CN2938173Y
授权日 ：
2007-08-22
发明人 ：
于强李本治李建彬解利国王长春
申请人 ：
烟台正海电子网板股份有限公司
申请人地址 ：
264006山东省烟台市烟台经济技术开发区珠江路21号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200620085313.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2015-07-22 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101618405253
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006200853132
申请日 : 20060606
授权公告日 : 20070822
终止日期 : 20140606
号牌文件序号 : 101618405253
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006200853132
申请日 : 20060606
授权公告日 : 20070822
终止日期 : 20140606
2007-08-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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