本实用新型公开了一种智能化光学薄膜全自动监控系统，包括：光源发射系统、聚光镜、小孔光阑、监控片、反射镜、光谱仪和晶控仪，监控片设置在真空室内，光源发射系统引出两路光信号，一路直接导入一单色仪，另一路依次通过聚光镜、小孔光阑和反射镜后入射到真空室内，并在监控片上形成光斑，由一光接收系统接收后，再分别导入单色仪和宽光谱仪。本实用新型把单波长光学监控法、晶控法、宽光谱光学监控法的监控装置复合在一起，协调工作，在镀膜的过程中实时地提供薄膜的多方位信息，实时地修正后续膜层参数及制备条件，用于实时地、全自动地修正膜层误差的影响。