光学薄膜监控的光控光路系统

授权

摘要

本实用新型涉及一种光学薄膜监控的光控光路系统，包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统；所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接；所述光路准直透镜对应产品基板设置，并将光照射到镀膜的产品基板上；所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号，并转换为电信号；所述锁相放大器接收发光光源的同步信号，并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。本实用新型可以根据对应厚度对镀膜过程进行监控。

基本信息

专利标题：

光学薄膜监控的光控光路系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921347827.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-20

授权号：

CN210220985U

授权日：

2020-03-31

发明人：

陈晓东

申请人：

常州鑫立离子技术有限公司

申请人地址：

江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村

代理机构：

常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

周颖洁

优先权：

CN201921347827.4

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06