检查装置和检查方法及检查装置用传感器
授权
摘要
本发明提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板20，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板30，可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位，用来检测导体图案15的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替(交错)的位置，对于该导体图案15，可以用各组的传感器板组进行检查。
基本信息
专利标题 ：
检查装置和检查方法及检查装置用传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101107537A
申请号 ：
CN200680002741.7
公开（公告）日 ：
2008-01-16
申请日 ：
2006-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
羽森宽山冈秀嗣石冈圣悟
申请人 ：
OHT株式会社
申请人地址 ：
日本广岛县
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
程伟
优先权 ：
CN200680002741.7
主分类号 ：
G01R31/02
IPC分类号 ：
G01R31/02
法律状态
2010-06-23 ：
授权
2008-03-19 ：
实质审查的生效
2008-01-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
