检查装置和检查方法及检查装置用传感器
授权
摘要
本发明提供一种检查装置,在检查对象为导体的情况时,可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有:纵向较长形状的供电传感器板20,定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置,用来提供检查信号;纵向较短形状的检测传感器板30,可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位,用来检测导体图案15的检查信号;将多组的传感器板组定位,使传感器板位置成为交替(交错)的位置,对于该导体图案15,可以用各组的传感器板组进行检查。
基本信息
专利标题 :
检查装置和检查方法及检查装置用传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101107537A
申请号 :
CN200680002741.7
公开(公告)日 :
2008-01-16
申请日 :
2006-01-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
羽森宽山冈秀嗣石冈圣悟
申请人 :
OHT株式会社
申请人地址 :
日本广岛县
代理机构 :
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 :
程伟
优先权 :
CN200680002741.7
主分类号 :
G01R31/02
IPC分类号 :
G01R31/02
法律状态
2010-06-23 :
授权
2008-03-19 :
实质审查的生效
2008-01-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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