本发明涉及一种对热敏介电材料特别是热膨胀系数小的介电材料使用激光辐射进行精抛光/精密结构化的方法。使用这种方法，将强超短波激光照射到材料待加工的表面上，激光对材料表面的作用时间在10^－13秒至10^－11秒范围内，激光脉冲能量控制在烧蚀极限以下，但是足可以调节库仑爆炸的发生。采用按照本发明的方法，材料在纳米范围内的去除量利用超短波激光脉冲在皮秒和亚皮秒时间范围中就可以完成，其间，在精密烧蚀工艺步骤(去除量在烧蚀极限以下)，材料表面即被精抛光。由于对等待加工表面的激光辐射作用时间极短，温升很小，仅在十几度左右。