本发明涉及一种由具有固有有机成孔剂的单一有机硅前体制备包含Si、C、O和H原子的SiCOH介电材料的方法。所述具有固有有机成孔剂的单一有机硅前体选自分子式为SiRR¹R²R³的硅烷(SiH₄)衍生物、分子式为R⁴R⁵R⁶Si－O－Si－R⁷R⁸R⁹的二硅氧烷衍生物、分子式为R¹⁰R¹¹R¹²－Si－O－Si－－R¹³R¹⁴－O－Si－R¹⁵R¹⁶R¹⁷的三硅氧烷衍生物，其中R和R^1－17可以相同或不同，并选自H、烷基、烷氧基、环氧基、苯基、乙烯基、烯丙基、烯基或炔基，它们可以是直链、支链、环状、多环状的，并且可以被含氧、氮或氟的取代基官能化。除了上述方法，本申请还提供了由本发明方法制备的SiCOH电介质以及包含该电介质的电子结构。