开槽的固定环
专利权的终止
摘要

本实用新型是揭示一种用于化学机械研磨的固定环。此环的底部表面具不相交(non-intersect)的沟槽(grooves)。所述交替沟槽彼此呈相对角度。

基本信息
专利标题 :
开槽的固定环
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200690000050.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-08-30
授权号 :
CN201346739Y
授权日 :
2009-11-18
发明人 :
S-P·王A·迪布斯特A·P·马内斯W-Y·许J·萨拉斯-韦尔尼斯Z·王
申请人 :
应用材料股份有限公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
陆 嘉
优先权 :
CN200690000050.9
主分类号 :
B24B37/04
IPC分类号 :
B24B37/04  B24B41/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
法律状态
2016-09-28 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101680710514
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2006900000509
申请日 : 20060830
授权公告日 : 20091118
终止日期 : 无
2012-01-04 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101257712345
IPC(主分类) : B24B 37/04
专利号 : ZL2006900000509
变更事项 : 专利权人
变更前 : 应用材料股份有限公司
变更后 : 应用材料公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国加利福尼亚州
变更后 : 美国加利福尼亚州
2009-11-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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