全自动硅片上下料机
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种全自动硅片上下料机,它解决了目前在众多太阳能电池制造厂家仍采用手工将硅片装入篮具和从篮具中取出硅片,生产效率低,碎片率高,浪费严重的技术问题。全自动硅片上下料机,包括电动执行器、下料位、吸盘、上料位、定位机构、传送带、篮具托盘、操作台面、操作面板、设备框架、上料位升降机构和篮具上升机构。全自动硅片上下料机易于安装、方便操作、自动化程度高,可以提高生产效率,降低碎片率,满足各种硅片工艺对上下料的要求。
基本信息
专利标题 :
全自动硅片上下料机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720102594.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-20
授权号 :
CN201117644Y
授权日 :
2008-09-17
发明人 :
吴洪坤孙晓波宁瑞李永生张瑾
申请人 :
中国电子科技集团公司第二研究所
申请人地址 :
030024山西省太原市和平南路115号
代理机构 :
山西科贝律师事务所
代理人 :
陈奇
优先权 :
CN200720102594.2
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2017-10-31 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20070920
授权公告日 : 20080917
申请日 : 20070920
授权公告日 : 20080917
2010-11-03 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101035798478
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2007201025942
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中国电子科技集团公司第二研究所
变更后权利人 : 山西中电科新能源技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 030024 山西省太原市和平南路115号
变更后权利人 : 030032 山西省太原市太原经济技术开发区唐槐路5号
登记生效日 : 20100915
号牌文件序号 : 101035798478
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2007201025942
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中国电子科技集团公司第二研究所
变更后权利人 : 山西中电科新能源技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 030024 山西省太原市和平南路115号
变更后权利人 : 030032 山西省太原市太原经济技术开发区唐槐路5号
登记生效日 : 20100915
2008-09-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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