本实用新型涉及一种用于超高真空与低温系统内部的局部照明装置。该装置包括在超高真空与低温装置腔体的内部设置一个冷光源，其包含一表面镀铝的铜块底电极(1)、底电极上的一侧用银胶粘附有LED芯片(2)、底电极上相对LED芯片的另一侧粘附铜片顶电极(3)，顶电极(3)和底电极之间用云母片(4)电绝缘，每个LED芯片的顶电极(5)通过细导线与顶电极(3)进行电连接；将冷光源的底电极与腔体内的金属体进行良好接触，并与外加电源共地，冷光源的顶电极用导线引出，并通过电极馈送孔与腔体外的电源电连接。该装置可用在STM或AFM等超高真空与低温系统内的局部照明，并通过调节外部电源可以方便地将光源调到合适的亮度，使CCD得到最佳的成像效果。